蒸发
铝
锌
物理
薄膜
分析化学(期刊)
化学
矿物学
材料科学
冶金
热力学
纳米技术
色谱法
作者
L. Holland,W Steckelmacher
出处
期刊:Vacuum
[Elsevier]
日期:1952-10-01
卷期号:2 (4): 346-364
被引量:77
标识
DOI:10.1016/0042-207x(52)93784-6
摘要
The problem of determining the laws of distribution of thin film deposits evaporated in vacuum is discussed in detail. From various types of practical sources, idealised sources are evolved for which the emission of vapour can be calculated. As a fundamental law, the ‘cosine law’ of Knudsen is recognised. The calculation is extended to point sources, long strip sources, wire sources and ring sources. Evaporation on to plane and spherical receiving surfaces is considered. The practical application of these results to the evaporation of zinc sulphide and magnesium fluoride from strip heaters, and aluminium from spiral filaments is considered together with experimental confirmation. The range of validity of the results is discussed. Discussion Detailles du problème de la détermination de lois regissant le dépôt en film mince evaporé sous vide. Partant de differents types existants des souces d'évaporation idéales sont derivées, par lesquelles l'emission de vapeur peut être calculée. Une loi fondamentale, la loi du consinus de Knudsen est reconnue. Les calculs sont étendus aux sources ponctuelles, élonguées, filiformes et annullaires. L'évaporation sur des surfaces sphériques et planes est considérée. Les applications pratiques de ces resultats sont pris en consideration pour l'evaporation de fulfure de zinc ou de fluorure de magnesium de sources en ruban et d'aluminium au départ de filaments en spirale. Des éxperiences ont été exécutées et une critique des résultats est ajoutée.
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI