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Extreme motion control
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作者
Maureen Babb
出处
期刊：Computing and control engineering journal
[Institution of Electrical Engineers]
日期：2003-10-01
卷期号：14 (5): 6-9
标识
DOI：10.1049/cce:20030501
摘要
The future of semiconductor manufacturing depends on, among other things, very precise motion control.
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