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Lead-Free Ultrasonic Phased Array Transducer for Human Heart Imaging

压电 材料科学 相控阵 传感器 相控阵超声 超声波传感器 PMUT公司 成像体模 声学 陶瓷 光学 电气工程 工程类 天线(收音机) 复合材料 物理
作者
Xiaowen Ma,Yingchun Liu,Jiaji Ruan,Chenyang Tao,Jianren Yuan,Yunfei Chang,Wenwu Cao
出处
期刊:IEEE Transactions on Ultrasonics Ferroelectrics and Frequency Control [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:69 (2): 751-760 被引量:7
标识
DOI:10.1109/tuffc.2021.3121086
摘要

Substantial advancement has been made in recent years on lead-free piezoelectric materials, but up to date, it is still a challenge to make a true medical imaging ultrasonic array transducer with center frequency <3 MHz. There are two major obstacles: the difficulty of fabricating large enough uniform lead-free piezoelectric materials with high piezoelectric coefficient, and the severe electrical impedance mismatch of an array element to the imaging system due to the relatively low dielectric constant of lead-free materials compared to lead-based piezoelectric materials. We resolved these two issues by employing texture engineering and stacking piezoelectric-layer design, which allowed us to fabricate an 80 element phased array transducer with the center frequency of 2.9 MHz and a bandwidth >80% for human heart imaging. The high-quality lead-free (Ba0.95Ca0.05)(Ti0.94Zr0.06)O3 textured ceramic plate has the size of 23×22×0.8 mm3 with the piezoelectric constant d33 = 570 pC/N. Phantom imaging and internal clinical human heart imaging demonstrated that this lead-free phased array can produce comparable imaging quality to that of a commercial PZT-5H ceramic-based phased array transducer, which demonstrated the practicality of using lead-free materials to replace PZT ceramics in phased array transducers for medical imaging applications.
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