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Fabrication and characterization of ITO thin film resistance temperature detector

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作者
Yanlei Wang,Congchun Zhang,Juan Li,Guifu Ding,Li Duan
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2016-07-26 卷期号：140: 121-125 被引量：57
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2016.07.028
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