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A study of ultra-precision processing mechanism of SiC crystals by MD simulation
机制（生物学）
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作者
AI Tian-cheng,
Dongdong Xu,
Yao Li,
Peng Xiao
出处
期刊：
Procedia CIRP
[Elsevier]
日期：2025-01-01
卷期号：133: 245-249
标识
DOI：10.1016/j.procir.2025.02.043
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