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Actinic mask inspection for the era of high-numerical aperture extreme ultraviolet lithography

极紫外光刻 平版印刷术 极端紫外线 光学 紫外线 光圈（计算机存储器） 材料科学 光电子学 物理 声学 激光器
作者
Ted Liang,Hiroki Miyai,Şafak Sayan,Moriji Mizoguchi,K.I. Gondaira,Masayasu Nishizawa,Tomohiro Suzuki,Toshiyuki Todoroki,Yuwei Li,Frank E. Abboud
出处
期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology [SPIE - International Society for Optical Engineering]
日期：2024-10-31 卷期号：24 (01)
标识
DOI：10.1117/1.jmm.24.1.011006
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