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GaN nanocrystals obtained by Ga and N implantations and thermal treatment under N2 into SiO2/Si and SiNx/Si wafers

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作者
L. Aggar,Djamel Bradai,Yousf Islem Bourezg,M. Abdesselam,A.C. Chami,Cristian Mocuta,Dominique Thiaudière,C. Speisser,D. Müller,Corinne Bouillet,F. Le Normand
出处
期刊：Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms [Elsevier]
日期：2020-11-02 卷期号：485: 57-67
链接
sciencedirect.com archives-ouvertes.fr hal.science univoak.eu univoak.eudoi.org
标识
DOI：10.1016/j.nimb.2020.10.012
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