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Deep-Subwavelength 2D Periodic Surface Nanostructures on Diamond by Double-Pulse Femtosecond Laser Irradiation

飞秒 材料科学 激光器 钻石 辐照 光电子学 蚀刻(微加工) 各向同性腐蚀 波长 纳米结构 光学 纳米技术 物理 核物理学 复合材料 图层(电子)
作者
Matteo Mastellone,A. Bellucci,M. Girolami,Valerio Serpente,Riccardo Polini,S. Orlando,A. Santagata,Elisa Sani,F. Hitzel,D.M. Trucchi
出处
期刊:Nano Letters [American Chemical Society]
卷期号:21 (10): 4477-4483 被引量:78
标识
DOI:10.1021/acs.nanolett.1c01310
摘要

Two-dimensional laser-induced periodic surface structures with a deep-subwavelength periodicity (80 nm ≈ λ/10) are obtained for the first time on diamond surfaces. The distinctive surface nanotexturing is achieved by employing a single step technique that relies on irradiation with two temporally delayed and cross-polarized femtosecond-laser pulses (100 fs duration, 800 nm wavelength, 1 kHz repetition rate) generated with a Michelson-like interferometer configuration, followed by chemical etching of surface debris. In this Letter, we demonstrate that, if the delay between two consecutive pulses is ≤2 ps, the 2D periodicity of nanostructures can be tuned by controlling the number of pulses irradiating the surface. Under scanning mode, the method is effective in treating uniformly large areas of diamond, so to induce remarkable antireflection properties able to enhance the absorptance in the visible up to 50 times and to pave the route toward the creation of metasurfaces for future diamond-based optoelectronic devices.
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