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Micro‐ and Nanomechanical Structures for Silicon Carbide MEMS and NEMS

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作者
Christian A. Zorman,Rocco J. Parro
标识
DOI：10.1002/9783527629053.ch17
摘要
This chapter contains sections titled: Introduction Single crystalline SiC Polycrystalline SiC Amorphous SiC Conclusions References
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