Phase Field Simulation on the Surface Morphology of Cu/Ti Nano Thin Film

材料科学 薄膜 表面粗糙度 纳米- 表面能 表面光洁度 图层(电子) 异质结 纳米尺度 相(物质) 纳米机电系统 复合材料 纳米技术 光电子学 纳米颗粒 化学 有机化学 纳米医学
作者
Ping Wu,Bing Rui Xing
出处
期刊:Materials Science Forum 卷期号:1035: 712-717
标识
DOI:10.4028/www.scientific.net/msf.1035.712
摘要

Cu/Ti binary thin film system has many applications for micro-/nano- electro mechanical systems (MEMS/NEMS), micro-electronics and optoelectronics. In nanoscale, the quality and many physical properties of nano thin films are strongly depended on its surface morphology. In the present paper the development of surface morphology of double layered Cu/Ti thin film heterostructure with different composition and thickness has been studied by using the phase field method. The developed method is based on solving Cahn-Hilliard equations of multi-order parameters with considering the interfacial energy and elastic energy. The simulation results show that the thickness of Ti layer and Cu layer in the double-layer thin film structure can affect the surface roughness. For the heterostructures with the Cu layer thickness was fixed at 20 nm, the surface roughness was found to vary from 0.608 nm to 0.712 nm, when the Ti layer thickness increased from 10 nm to 30 nm. The calculated surface morphology and roughness was similar to the experimentally measured values. It is believed that this simulation method is useful in designing multi-layered thin film structure for practical applications.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
Owen应助wrx采纳,获得10
刚刚
1秒前
2秒前
白熊IceBear完成签到,获得积分10
3秒前
大力翠丝完成签到,获得积分10
3秒前
lyl19880908应助可爱的电话采纳,获得10
3秒前
4秒前
田様应助义气的惜海采纳,获得10
5秒前
5秒前
万刈发布了新的文献求助10
6秒前
Lynn完成签到,获得积分10
6秒前
A1234发布了新的文献求助10
7秒前
CynthiaaaCat完成签到,获得积分10
7秒前
传奇3应助dede采纳,获得10
7秒前
pinkham_chen应助成就幻枫采纳,获得10
7秒前
烟花应助乐乐的小盘子采纳,获得10
7秒前
8秒前
魔幻半梦发布了新的文献求助10
9秒前
展七发布了新的文献求助30
9秒前
鱼鱼完成签到 ,获得积分10
10秒前
HH关闭了HH文献求助
10秒前
永恒星发布了新的文献求助10
10秒前
缥缈可乐发布了新的文献求助10
11秒前
二七完成签到 ,获得积分10
11秒前
11秒前
tuanheqi应助害羞行云采纳,获得50
12秒前
machi完成签到,获得积分10
12秒前
jssssssss完成签到,获得积分20
12秒前
12秒前
科研通AI2S应助祖寻菡采纳,获得10
12秒前
大个应助赫鲁晓夫采纳,获得10
12秒前
13秒前
13秒前
13秒前
Yziii举报zzl求助涉嫌违规
13秒前
传奇3应助顺利大门采纳,获得10
13秒前
guoke完成签到,获得积分10
15秒前
machi发布了新的文献求助10
15秒前
在水一方应助万刈采纳,获得10
15秒前
cyrong应助酥酥采纳,获得10
15秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2000
The ACS Guide to Scholarly Communication 2000
Studien zur Ideengeschichte der Gesetzgebung 1000
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 810
Pharmacogenomics: Applications to Patient Care, Third Edition 800
Gerard de Lairesse : an artist between stage and studio 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3075882
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2728806
关于积分的说明 7506117
捐赠科研通 2377016
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1260379
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 610960
版权声明 597151