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Morphological properties of chemical vapour deposited AlN films

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作者
R. Rodrı́guez-Clemente,B. Aspar,Nathalie Azéma,B. Armas,C. Combescure,J. Durand,António Figueras
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：1993-10-01 卷期号：133 (1-2): 59-70 被引量：63
链接
imt-mines-ales.hal.science mines-ales.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/0022-0248(93)90103-4
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