Purification techniques and analytical methods for gaseous and metallic impurities in high-purity silane

杂质 硅烷 材料科学 半导体 金属 电阻率和电导率 纳米技术 光电子学 工艺工程 冶金 化学 电气工程 复合材料 有机化学 工程类
作者
Patrick Taylor
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier BV]
卷期号:89 (1): 28-38 被引量:32
标识
DOI:10.1016/0022-0248(88)90068-1
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