发布文献求助

Effect of NF3, WF6, and MoF6 Additive Gases on High Aspect Ratio Contact SiO2 Etching in c-C4F8/C4F6/Ar/O2 Plasmas

蚀刻（微加工） 材料科学 纵横比（航空） 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 光电子学 环境化学 图层（电子）
作者
Hyun Woo Tak,Changsik Choi,Seong Bae Kim,M. Park,J. Lee,Akihide Sato,B. Kim,Jun Ki Jang,Eun‐Seong Kim,Dong Woo Kim,G.Y. Yeom
出处
期刊：ACS applied electronic materials [American Chemical Society]
日期：2025-02-19
标识
DOI：10.1021/acsaelm.4c02239
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
科研通AI机器人已完成分析
对不起，本页面需要您登录以后才可查看
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
刚刚
刚刚
刚刚
852的应助被Yolen LI采纳，获得10
刚刚
1秒前
呆萌芙蓉发布了新的文献求助10
1秒前
LX完成签到，获得积分10
2秒前
ocean发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
孤独的芒果完成签到，获得积分10
3秒前
4秒前
香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
大模型的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
FL的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
5秒前
星辰大海的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
香蕉觅云的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
李健的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
cdercder的应助被科研通管家采纳，获得20
5秒前
狐假假发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
5秒前
NexusExplorer的应助被企鹅采纳，获得10
6秒前
LX发布了新的文献求助10
6秒前
科研通AI5的应助被溏心蛋采纳，获得10
7秒前
RUSTY发布了新的文献求助10
7秒前
7秒前
阿呆完成签到，获得积分10
8秒前
8秒前
大龙哥886的应助被立军采纳，获得10
8秒前
科研通AI5的应助被立军采纳，获得10
8秒前
勤劳的寄灵完成签到，获得积分10
9秒前
9秒前
无限向lu发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
10秒前
10秒前
ti完成签到，获得积分10
10秒前
10秒前
高分求助中
Production Logging: Theoretical and Interpretive Elements 2700
Neuromuscular and Electrodiagnostic Medicine Board Review 1000
Statistical Methods for the Social Sciences, Global Edition, 6th edition 600
こんなに痛いのにどうして「なんでもない」と医者にいわれてしまうのでしょうか 500
Walter Gilbert: Selected Works 500
An Annotated Checklist of Dinosaur Species by Continent 500
岡本唐貴自伝的回想画集 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3657975
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3219899
关于积分的说明 9734193
捐赠科研通 2928944
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1603726
邀请新用户注册赠送积分活动 756725
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 734079
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通