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Development and optimisation of a SiO2 PVD technique based on the thermal decomposition of PDMS

化学 热分解 沉积（地质） 降级（电信） 分解 化学气相沉积 热的 化学工程 有机化学 热力学 工程类 古生物学 物理 计算机科学 生物 电信 沉积物
作者
Paul Cannon,E. McGlynn,Brian Freeland,Jennifer Gaughran
出处
期刊：New Journal of Chemistry [The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：47 (8): 3734-3744 被引量：3
链接
rsc.org dcu.ie dcu.iedoi.org
标识
DOI：10.1039/d2nj05886c
摘要
Mass and heat rate dependant deposition of SiO 2 vapour species by controlled thermal degradation of PDMS on solid substrates.
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