Design and research of a valve-based piezoelectric pump with low forward resistance and high reverse shutoff

楔形(几何) 放大器 电压 材料科学 变量泵 压电 工程类 体积流量 机械工程 电气工程 声学 结构工程 机械 光学 物理 CMOS芯片
作者
Zhang Yong,Jinyu Li,Xiaoliang Wang,Junqing Shao,Shanlin Liu,Qiaosheng Pan
出处
期刊:Journal of Micromechanics and Microengineering [IOP Publishing]
卷期号:33 (10): 105002-105002 被引量:3
标识
DOI:10.1088/1361-6439/acec7f
摘要

Abstract This paper proposes, designs, manufactures and experimentally studies a wedge valve piezoelectric pump driven by a double displacement amplifier vibrator (DDAV). A novel wedge valve is designed, manufactured and analyzed, and the static performance of the wedge valve is tested. The test results show that it has less forward resistance and high reverse shutoff. The DDAV and pump body are designed, and the test experimental platform is built. Results indicate that the static opening pressure of the wedge valve is 0.27 kPa, and the reverse shutoff pressure can reach 200 kPa. When the driving voltage is 700 Vpp and the driving frequency is 425 Hz, the maximum flow rate is 491.2 ml min −1 and the maximum output pressure is 160 kPa.
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