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An Investigation by Monte Carlo Simulation of the Sputtering Process in Plasma

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作者
Abdelkader Bouazza
出处
期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Springer Nature]
日期：2023-10-01 卷期号：17 (5): 1172-1179
标识
DOI：10.1134/s1027451023050361
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