Unveiling superior chemical mechanical polishing properties of a novel shell-core structure: Insights from an atomic-scale perspective

原子单位 透视图(图形) 抛光 化学机械平面化 芯(光纤) 材料科学 比例(比率) 壳体(结构) 结晶学 纳米技术 化学物理 化学 物理 冶金 几何学 复合材料 数学 量子力学
作者
Chuandong Chen,Shipeng Yue,Yang Liu,Hongpeng You
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:: 160845-160845
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2024.160845
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