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One-step growth of a nearly 2 mm thick CVD single crystal diamond with an enlarged surface by optimizing the substrate holder structure

基质(水族馆) 微晶 钻石 材料科学 化学气相沉积 金刚石材料性能 光电子学 垂直的 晶体生长 单晶 外延 复合材料 结晶学 化学 冶金 几何学 地质学 图层(电子) 海洋学 数学
作者
Mengyang Feng,Jin Peng,Xianquan Meng,Pengfei Xu,Wu Ju,Zhanguo Wang
出处
期刊:Journal of Crystal Growth [Elsevier]
卷期号:603: 127011-127011 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.jcrysgro.2022.127011
摘要

The pocket substrate holder with its sidewalls perpendicular to the surface is widely used to grow CVD single crystal diamond without polycrystalline diamond rims, but the lateral growth of thick single crystal diamond is usually restricted in a one-step procedure. In this work, a modified pocket substrate holder with slanting sidewalls of the pocket was designed to avoid the growth of polycrystalline diamond rims and reserve the lateral growth space of CVD single crystal diamond, simultaneously. As a result, the growth of a 1.94 mm thick CVD single crystal diamond without polycrystalline diamond rims was realized successfully only by one-step growth for 246 h, and the lateral area gain was 1.31. The FWHM values of the diamond (0 0 4) X-ray rocking curve and Raman characteristic peak are 40.3 arcsec and 2.45 cm−1, respectively, indicating the diamond has good crystallinity.
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