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Self limiting atomic layer deposition of Al2O3 on perovskite surfaces: a reality?

钙钛矿（结构） 限制 原子层沉积 图层（电子） 沉积（地质） 材料科学 自我限制 化学工程 纳米技术 地质学 工程类 沉积物 皮肤病科 医学 机械工程 古生物学
作者
Devika Choudhury,Gopalan Rajaraman,Shaibal K. Sarkar
出处
期刊：Nanoscale [The Royal Society of Chemistry]
日期：2016-01-01 卷期号：8 (14): 7459-7465 被引量：31
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/c5nr06974b
摘要
The feasibility of self-saturated atomic layer deposition of Al2O3 on an organolead halide perovskite (MAPbI3−xClx) surface through a well known trimethylaluminium (TMA)–water (H2O) chemistry is studied.
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