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Multiscale simulation of extreme ultraviolet nanolithography: impact of acid–base reaction on pattern roughness

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作者
Hyungwoo Lee,Sungwoo Park,Muyoung Kim,Junghwan Moon,Byunghoon Lee,Maenghyo Cho
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [Royal Society of Chemistry]
日期：2021-01-01 卷期号：9 (4): 1183-1195 被引量：20
标识
DOI：10.1039/d0tc04104a
摘要
Impact of acid–base neutralization in EUV lithography was investigated using our newly developed multi-scale framework (DFT-MD-FDM).
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