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DEPOSITION OF HARD SILICON CARBONITRIDE COATINGS FROM HEXAMETHYLDISILAZANE (HMDS) AND HMDS+BENZENE VAPORS IN LASER PLASMA

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作者
V. N. Demin,T. P. Smirnova,V. O. Borisov,G. N. Grachev,A. L. Smirnov,M. N. Khomyakov
出处
期刊：Journal of Structural Chemistry [Springer Nature]
日期：2020-09-01 卷期号：61 (9): 1390-1397 被引量：3
标识
DOI：10.1134/s002247662009005x
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