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A novel measurement system for silicon melt level in Czochralski crystal pullers based on laser triangulation

硅 三角测量 材料科学 激光器 直拉法 Crystal（编程语言） 光学 计算机科学 光电子学 物理 数学 几何学 程序设计语言
作者
Xuanyin Wang,Senwei Xiang,Xiang Ke,Feng Pan,Wen Chen
出处
期刊：Measurement Science and Technology [IOP Publishing]
日期：2017-09-06 卷期号：28 (11): 115202-115202 被引量：3
标识
DOI：10.1088/1361-6501/aa8a9e
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