钝化
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
光电子学
砷化镓
硅
纳米技术
图层(电子)
作者
Muhammad Asif,Peng Ding,Chen Chen,Xi Wang,Saeedullah Jan,Zhi Jin
出处
期刊:Journal of Nanoelectronics and Optoelectronics
[American Scientific Publishers]
日期:2018-05-29
卷期号:13 (6): 864-871
被引量:1
标识
DOI:10.1166/jno.2018.2303
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