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Plasma-enhanced chemical vapor deposition of carbon nanotubes using alcohol vapor

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作者
Atsushi Okita,Yoshiyuki Suda,Masayuki Maekawa,Junichi Takayama,Akinori Oda,Hirotake Sugawara,Yosuke Sakai
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2007-01-01 卷期号：1057 被引量：1
标识
DOI：10.1557/proc-1057-ii05-10
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