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Deposition of thin indium oxide film and its application to selective epitaxy for in situ processing

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作者
Kazunari Ozasa,Tianchun Ye,Yoshinobu Aoyagi
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：1994-06-01 卷期号：246 (1-2): 58-64 被引量：44
标识
DOI：10.1016/0040-6090(94)90732-3
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