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In situ study of the electronic structure of atomic layer deposited oxide ultrathin films upon oxygen adsorption using ambient pressure XPS
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作者
Baohua Mao,
Ethan J. Crumlin,
Eric C. Tyo,
Michael J. Pellin,
Štefan Vajda,
Yimin Li,
Sui‐Dong Wang,
Zhi Liu
出处
期刊：
Catalysis Science & Technology
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2016-01-01
卷期号：6 (18): 6778-6783
被引量：19
链接
osti.gov
osti.gov
escholarship.org
escholarship.org
doi.org
标识
DOI：10.1039/c6cy00575f
摘要
APXPS was used to investigate the effect of oxygen adsorption on the band bending and electron affinity of ALD Al
2
O
3
, ZnO and TiO
2
ultrathin films.
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