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Mathematical Simulation of Plasma Processes in a Radio Frequency Inductively Coupled Plasma Torch in ANSYS Fluent and COMSOL Multiphysics Software Packages

多物理 等离子炬 火炬 感应耦合等离子体 流利 机械 等离子体 无线电频率 计算流体力学 物理 核工程 材料科学 机械工程 电气工程 工程类 有限元法 热力学 核物理学 焊接
作者
D. Ivanov,S.G. Zverev
出处
期刊:IEEE Transactions on Plasma Science [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:50 (6): 1700-1709 被引量:1
标识
DOI:10.1109/tps.2022.3175741
摘要

This article is devoted to the comparison of calculations of plasma processes in a radio frequency (RF) inductively coupled plasma (ICP) torch in the ANSYS Fluent software package, which is traditionally used for such calculations, and in the COMSOL Multiphysics software package. The basic equations of the model as well as the geometry of the plasma torch are given. Calculations were carried out in a 2-D axisymmetric formulation in the following operating conditions: plasma power was 30 and 40 kW; air flow rate was 1, 2, and 3 g/s; two ways of gas feeding were considered: tangential feeding and axial one. To correctly set the velocity distribution at the torch inlet with tangential feeding, preliminary calculations were carried out within the framework of a 3-D model for a cold gas flow. The results (i.e., temperature distributions and integral energy parameters) for the calculated cases are presented and analyzed.
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