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Ga-concentration-dependent optical and electrical properties of Ga-doped ZnO thin films prepared by low-temperature atomic layer deposition

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作者
Yangfei Zhu,Yong Wu,Fahai Cao,Xiaohong Ji
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
卷期号:33 (8): 5696-5706 被引量:11
标识
DOI:10.1007/s10854-022-07756-2
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