Relationship between substrate bias and microstructure in magnetron-sputtered AlCu films

微观结构 材料科学 腔磁控管 基质(水族馆) 溅射沉积 冶金 光电子学 薄膜 纳米技术 溅射 地质学 海洋学
出处
期刊:Vacuum [Elsevier]
卷期号:39 (5): 494-494
标识
DOI:10.1016/0042-207x(89)90318-7

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