The influences of surface treatment and gas annealing conditions on the inversion behaviors of the atomic-layer-deposition Al2O3/n-In0.53Ga0.47As metal-oxide-semiconductor capacitor

退火(玻璃) 形成气体 X射线光电子能谱 原子层沉积 氧化物 材料科学 分析化学(期刊) 金属 电容器 电容 半导体 化学 薄膜 光电子学 化学工程 冶金 纳米技术 电压 电极 物理化学 电气工程 有机化学 色谱法 工程类
作者
Hai-Dang Trinh,E.Y. Chang,Pu‐Wei Wu,Yung-Hao Wong,C. T. Chang,Yuan‐Tsu Hsieh,Chia-Chi Yu,Hong-Quan Nguyen,Y. C. Lin,Kuei-Huei Lin,Mantu K. Hudait
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:97 (4) 被引量:104
标识
DOI:10.1063/1.3467813
摘要

The inversion behaviors of atomic-layer-deposition Al2O3/n-In0.53Ga0.47As metal-oxide-semiconductor capacitors are studied by various surface treatments and postdeposition annealing using different gases. By using the combination of wet sulfide and dry trimethyl aluminum surface treatment along with pure hydrogen annealing, a strong inversion capacitance-voltage (C-V) response is observed, indicating a remarkable reduction in interface trap state density (Dit) at lower half-part of In0.53Ga0.47As band gap. This low Dit was confirmed by the temperature independent C-V stretch-out and horizontal C-V curves. The x-ray photoelectron spectroscopy spectra further confirm the effectiveness of hydrogen annealing on the reduction of native oxides.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
2秒前
2秒前
许中原完成签到,获得积分10
2秒前
LY完成签到,获得积分10
4秒前
Nature完成签到,获得积分10
5秒前
5秒前
五一完成签到,获得积分10
7秒前
LN发布了新的文献求助10
7秒前
许中原发布了新的文献求助10
8秒前
香蕉觅云应助11采纳,获得10
9秒前
狂野的锦程完成签到,获得积分10
10秒前
12秒前
嘎嘎嘎发布了新的文献求助10
16秒前
爆米花应助rush采纳,获得30
16秒前
勤奋西牛完成签到,获得积分10
18秒前
Calvin-funsom完成签到,获得积分10
23秒前
咖啡豆应助嘎嘎嘎采纳,获得10
27秒前
科研通AI2S应助嘎嘎嘎采纳,获得10
27秒前
28秒前
28秒前
下次一定发布了新的文献求助10
31秒前
Singularity应助LN采纳,获得10
31秒前
rush发布了新的文献求助30
34秒前
11发布了新的文献求助10
36秒前
45秒前
科研通AI2S应助啊呜采纳,获得10
46秒前
橘猫完成签到 ,获得积分10
48秒前
卡戎529发布了新的文献求助10
48秒前
wby发布了新的文献求助10
50秒前
51秒前
54秒前
rush完成签到,获得积分10
55秒前
英俊的铭应助baby的跑男采纳,获得10
55秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
56秒前
情怀应助科研通管家采纳,获得10
56秒前
打打应助科研通管家采纳,获得10
56秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
56秒前
上官若男应助科研通管家采纳,获得10
56秒前
无花果应助科研通管家采纳,获得10
57秒前
57秒前
高分求助中
Sustainability in Tides Chemistry 2800
Kinetics of the Esterification Between 2-[(4-hydroxybutoxy)carbonyl] Benzoic Acid with 1,4-Butanediol: Tetrabutyl Orthotitanate as Catalyst 1000
The Young builders of New china : the visit of the delegation of the WFDY to the Chinese People's Republic 1000
Rechtsphilosophie 1000
Bayesian Models of Cognition:Reverse Engineering the Mind 888
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 568
Chen Hansheng: China’s Last Romantic Revolutionary 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3138630
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2789658
关于积分的说明 7791830
捐赠科研通 2445993
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1300801
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 626058
版权声明 601079