Variation of poly-Si grain structures under thermal annealing and its effect on the performance of TiN/Al2O3/Si3N4/SiO2/poly-Si capacitors

材料科学 退火(玻璃) 电容器 钝化 晶界 粒度 光电子学 薄膜晶体管 再结晶(地质) 电子工程 复合材料 冶金 微观结构 电气工程 电压 图层(电子) 古生物学 工程类 生物
作者
Suk Bum Hong,Ju Hyun Park,Tae Ho Lee,Jun Hee Lim,Changhwan Shin,Young‐Woo Park,Tae Geun Kim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:477: 104-110 被引量:8
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2017.11.226

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
香蕉觅云应助小豆采纳,获得10
刚刚
刚刚
梅梅也发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
科研通AI6.2应助小七采纳,获得10
刚刚
vv发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
我是老大应助害怕的小蕾采纳,获得30
1秒前
蓝天应助coco采纳,获得10
1秒前
2秒前
夜冷瞳完成签到,获得积分10
2秒前
3秒前
3秒前
zyw发布了新的文献求助10
3秒前
Angel发布了新的文献求助10
3秒前
辛卫铎发布了新的文献求助10
3秒前
4秒前
4秒前
醉熏的奇异果完成签到,获得积分10
4秒前
空凌发布了新的文献求助30
4秒前
4秒前
华仔应助pop0101采纳,获得10
4秒前
4秒前
5秒前
5秒前
英俊的铭应助chaeki采纳,获得10
5秒前
秦文静发布了新的文献求助30
6秒前
wy.he应助眰晌采纳,获得10
6秒前
探探发布了新的文献求助10
6秒前
bkagyin应助shining采纳,获得10
6秒前
6秒前
Akim应助47采纳,获得10
6秒前
李健的粉丝团团长应助sow采纳,获得10
6秒前
sink完成签到,获得积分10
7秒前
Dora发布了新的文献求助10
7秒前
yiyi发布了新的文献求助10
7秒前
研友_n2Q9KL完成签到,获得积分10
7秒前
丘比特应助vv采纳,获得10
8秒前
8秒前
科研通AI6.1应助歪比巴卜采纳,获得10
8秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Kinesiophobia : a new view of chronic pain behavior 3000
The Social Psychology of Citizenship 1000
Signals, Systems, and Signal Processing 510
Discrete-Time Signals and Systems 510
Le genre Cuphophyllus (Donk) st. nov 500
Brittle Fracture in Welded Ships 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5931719
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 6993686
关于积分的说明 15849984
捐赠科研通 5060510
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2722101
邀请新用户注册赠送积分活动 1679138
关于科研通互助平台的介绍 1610272