High-throughput microchannel fabrication in fused silica by temporally shaped femtosecond laser Bessel-beam-assisted chemical etching

材料科学 贝塞尔光束 飞秒 光学 微通道 蚀刻(微加工) 激光器 制作 各向同性腐蚀 光电子学 拉曼光谱 梁(结构) 纳米技术 图层(电子) 病理 替代医学 物理 医学
作者
Z.J. Wang,Lan Jiang,Xiaowei Li,Andong Wang,Zhulin Yao,Kaihu Zhang,Yongfeng Lu
出处
期刊:Optics Letters [Optica Publishing Group]
卷期号:43 (1): 98-98 被引量:85
标识
DOI:10.1364/ol.43.000098
摘要

We proposed combining temporally shaped (double-pulse train) laser pulses with spatially shaped (Bessel beam) laser pulses. By using a temporally shaped femtosecond laser Bessel-beam-assisted chemical etching method, the energy deposition efficiency was improved by adjusting the pulse delay to yield a stronger material modification and, thus, a higher etching depth. The etching depth was enhanced by a factor of 13 using the temporally shaped Bessel beam. The mechanism of etching depth enhancement was elucidated by localized transient-free electrons dynamics-induced structural and morphological changes. Micro-Raman spectroscopy was conducted to verify the structural changes inside the material. This method enables high-throughput, high-aspect-ratio microchannel fabrication in fused silica for potential applications in microfluidics.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
呵呵完成签到,获得积分10
1秒前
kuangweiming完成签到 ,获得积分10
2秒前
传奇3应助errui采纳,获得10
2秒前
2秒前
3秒前
PRIPRO发布了新的文献求助10
3秒前
3秒前
replay发布了新的文献求助10
3秒前
小白白发布了新的文献求助10
3秒前
桐桐应助ccq采纳,获得10
4秒前
可爱的函函应助2025采纳,获得10
4秒前
4秒前
Icberg完成签到,获得积分10
5秒前
虚拟ID发布了新的文献求助10
5秒前
超级的鹅完成签到,获得积分10
6秒前
无算浮白发布了新的文献求助10
6秒前
6秒前
量子星尘发布了新的文献求助150
6秒前
7秒前
自信向梦发布了新的文献求助10
7秒前
chenfeng2163发布了新的文献求助10
7秒前
8秒前
为医消得人憔悴完成签到 ,获得积分10
8秒前
9秒前
10秒前
王有闲发布了新的文献求助10
10秒前
mmz666发布了新的文献求助10
11秒前
zhaoxiao完成签到 ,获得积分10
12秒前
赘婿应助无算浮白采纳,获得10
13秒前
14秒前
百里幻竹发布了新的文献求助10
14秒前
14秒前
文艺的明杰完成签到,获得积分10
15秒前
ccq发布了新的文献求助10
15秒前
玛卡巴卡发布了新的文献求助10
18秒前
包谷林完成签到,获得积分10
18秒前
Owen应助王有闲采纳,获得10
19秒前
22秒前
隐形曼青应助科研通管家采纳,获得10
23秒前
英俊的铭应助科研通管家采纳,获得10
23秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976177
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520366
关于积分的说明 11202745
捐赠科研通 3256847
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798509
邀请新用户注册赠送积分活动 877704
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806516