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Engineering Ferroelectric HZO with n+-Si/Ge Substrates Achieving High 2Pr =84 μC/cm2 and Endurance > 1E11

铁电性 材料科学 硅 锗 物理 光电子学 电介质
作者
Zefu Zhao,Yun‐Wen Chen,Yu-Rui Chen,Liu C
出处
期刊：IEEE Access [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/access.2024.3402120
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