Multi-objective optimization of 4H-SiC homoepitaxy chemical vapor deposition process fusing support vector machine with multiphysics simulations

多物理 材料科学 化学气相沉积 过程(计算) 沉积(地质) 支持向量机 工艺优化 纳米技术 核工程 化学工程 计算机科学 人工智能 有限元法 热力学 古生物学 物理 沉积物 生物 工程类 操作系统
作者
Jingjing Tian,Zhuorui Tang,Hongyu Tang,Jiajie Fan
出处
期刊:Materials today communications [Elsevier]
卷期号:: 111721-111721
标识
DOI:10.1016/j.mtcomm.2025.111721
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