Plasma Parameters and Etching Kinetics of Si/SiO2 in Mixtures of Fluorocarbon Gases with Argon and Helium

氟碳化合物 材料科学 动力学 蚀刻(微加工) 等离子体 等离子体刻蚀 原子物理学 化学物理 纳米技术 复合材料 化学 物理 核物理学 量子力学 图层(电子)
作者
Alexander Efremov,В. Б. Бетелин,Kwang‐Ho Kwon
出处
期刊:Russian Microelectronics [Springer Nature]
卷期号:53 (6): 567-575
标识
DOI:10.1134/s1063739724600535
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