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Plasma Parameters and Etching Kinetics of Si/SiO2 in Mixtures of Fluorocarbon Gases with Argon and Helium

氟碳化合物氩材料科学氦动力学蚀刻（微加工）等离子体等离子体刻蚀原子物理学化学物理纳米技术复合材料化学物理核物理学量子力学图层（电子）

作者

Alexander Efremov,В. Б. Бетелин,Kwang‐Ho Kwon

出处

期刊：Russian Microelectronics [Springer Nature]
日期：2024-12-01 卷期号：53 (6): 567-575

标识

DOI：10.1134/s1063739724600535

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