Photoresist process simulation to study line edge roughness

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作者
Yufei Sha,Shuxin Yao,Miao Jiang,Hao Yang,Di Liang,Cuixiang Wang,Futian Wang,Enqiang Tian,Jiahao Xi,Yu-Long Jiang,Jiangliu Shi
标识
DOI:10.1117/12.3010734
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