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Photoresist process simulation to study line edge roughness

光刻胶 GSM演进的增强数据速率 过程（计算） 直线（几何图形） 表面光洁度 表面粗糙度 计算机科学 材料科学 光学 复合材料 人工智能 几何学 物理 数学 图层（电子） 操作系统
作者
Yufei Sha,Shuxin Yao,Miao Jiang,Hao Yang,Di Liang,Cuixiang Wang,Futian Wang,Enqiang Tian,Jiahao Xi,Yu-Long Jiang,Jiangliu Shi
标识
DOI：10.1117/12.3010734
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