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Characterization of phosphorus implantation in 4H-SiC

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作者
V. Khemka,R. N. Patel,N. Ramungul,T. Paul Chow,M. Ghezzo,J. Kretchmer
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
卷期号:28 (3): 167-174 被引量:51
标识
DOI:10.1007/s11664-999-0008-z

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