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Characterization of phosphorus implantation in 4H-SiC

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作者
V. Khemka,R. N. Patel,N. Ramungul,T. Paul Chow,M. Ghezzo,J. Kretchmer
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：1999-03-01 卷期号：28 (3): 167-174 被引量：51
标识
DOI：10.1007/s11664-999-0008-z
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