Analysis of retaining ring using finite element simulation in chemical mechanical polishing process

薄脆饼 化学机械平面化 冯·米塞斯屈服准则 材料科学 抛光 有限元法 GSM演进的增强数据速率 研磨 压力(语言学) 复合材料 旋转对称性 机械工程 结构工程 机械 光电子学 工程类 物理 电信 哲学 语言学
作者
Ship-Peng Lo,Yeou-Yih Lin,Jiansheng Huang
出处
期刊:The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
卷期号:34 (5-6): 547-555 被引量:27
标识
DOI:10.1007/s00170-006-0622-3
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
da白发布了新的文献求助10
1秒前
想跟这个世界讲个道理完成签到,获得积分10
1秒前
隐形曼青应助研友_8y2G0L采纳,获得10
1秒前
orixero应助老实皮卡丘采纳,获得10
2秒前
梦影完成签到 ,获得积分10
2秒前
3秒前
SciGPT应助坚定的雁菱采纳,获得10
4秒前
5秒前
6秒前
7秒前
7秒前
7秒前
7秒前
8秒前
脑洞疼应助美好的睫毛膏采纳,获得10
12秒前
12秒前
君莫笑完成签到,获得积分10
12秒前
yang发布了新的文献求助10
13秒前
坚定的雁菱完成签到,获得积分10
13秒前
14秒前
8R60d8应助赖道之采纳,获得10
14秒前
深情安青应助二二二采纳,获得10
14秒前
14秒前
14秒前
小欧完成签到 ,获得积分10
15秒前
16秒前
17秒前
kk发布了新的文献求助10
17秒前
dopamine完成签到,获得积分10
17秒前
lixuanhao完成签到,获得积分20
17秒前
18秒前
华仔应助Cathy采纳,获得10
19秒前
20秒前
20秒前
小魏完成签到,获得积分10
21秒前
21秒前
cancan完成签到,获得积分10
21秒前
鳗鱼思卉完成签到,获得积分10
21秒前
22秒前
22秒前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Cognitive Paradigms in Knowledge Organisation 2000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials Instrumentation, Data Analysis, and Applications 1800
Natural History of Mantodea 螳螂的自然史 800
How Maoism Was Made: Reconstructing China, 1949-1965 800
Barge Mooring (Oilfield Seamanship Series Volume 6) 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3313270
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2945680
关于积分的说明 8526586
捐赠科研通 2621440
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1433542
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 665057
邀请新用户注册赠送积分活动 650568