Meso-silica/Erbium-doped ceria binary particles as functionalized abrasives for photochemical mechanical polishing (PCMP)

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作者
Ailian Chen,Yuhan Duan,Zhaoyu Mu,Wenjie Cai,Yang Chen
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:550: 149353-149353 被引量:40
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2021.149353

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