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Control of subthreshold swing using an in situ PEALD nano-laminated IGZO/Al2O3 multi-channel structured TFT

薄膜晶体管 材料科学 晶体管 光电子学 堆积 原子层沉积 阈下摆动 阈值电压 阈下传导 电压 计算机科学 纳米技术 图层(电子) 电气工程 物理 工程类 核磁共振
作者
Won-Bum Lee,Yoon-Seo Kim,Jin‐Seong Park
出处
期刊:Journal of information display [Informa]
卷期号:25 (2): 179-185 被引量:3
标识
DOI:10.1080/15980316.2023.2249244
摘要

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