Surface topography and subsurface structure evolution in laser micro polishing of monocrystalline silicon

单晶硅 抛光 材料科学 曲面(拓扑) 激光器 光学 光电子学 冶金 几何学 物理 数学
作者
Weiqi Huang,Tao Li,Gui Lu Long,Chuangting Lin,Kai Huang,Zhengding Zheng,Junfeng Xiao,Jianguo Zhang,Jianfeng Xu
出处
期刊:Optics and Laser Technology [Elsevier]
卷期号:177: 111068-111068
标识
DOI:10.1016/j.optlastec.2024.111068
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