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Surface topography and subsurface structure evolution in laser micro polishing of monocrystalline silicon
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作者
Weiqi Huang,
Tao Li,
Gui Lu Long,
Chuangting Lin,
Kai Huang,
Zhengding Zheng,
Junfeng Xiao,
Jianguo Zhang,
Jianfeng Xu
出处
期刊：
Optics and Laser Technology
[Elsevier]
日期：2024-10-01
卷期号：177: 111068-111068
标识
DOI：10.1016/j.optlastec.2024.111068
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