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Versatile Landscape of Low-k Polyimide: Theories, Synthesis, Synergistic Properties, and Industrial Integration

化学 聚酰亚胺 纳米技术 有机化学 图层(电子) 材料科学
作者
Xiaodi Dong,Baoquan Wan,Jun‐Wei Zha
出处
期刊:Chemical Reviews [American Chemical Society]
卷期号:124 (12): 7674-7711 被引量:3
标识
DOI:10.1021/acs.chemrev.3c00802
摘要

The development of microelectronics and large-scale intelligence nowadays promotes the integration, miniaturization, and multifunctionality of electronic and devices but also leads to the increment of signal transmission delays, crosstalk, and energy consumption. The exploitation of materials with low permittivity (low-
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