清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Mechanism Analysis of Megasonic and Brush Cleaning Processes for Silicon Substrate after Chemical Mechanical Polishing

薄脆饼 喷嘴 抛光 材料科学 刷子 化学机械平面化 光电子学 纳米技术 机械工程 复合材料 工程类
作者
kun li,Changkun Li,Tongqing Wang,Dewen Zhao,Xinchun Lu
出处
期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology [Institute of Physics]
卷期号:11 (10): 104004-104004 被引量:1
标识
DOI:10.1149/2162-8777/ac9c2e
摘要

Cleaning processes draw considerable attention in integrated circuit manufacturing because of the rapid development of technology nodes. Bare silicon wafer cleaning after chemical mechanical polishing (CMP) is one of the most difficult processes used to meet the extremely strict industrial requirements. Herein, the silicon wafer cleaning mechanism is studied in detail. The effects of megasonic and brush cleaning on nanoparticle removal are both analysed through experiments and simulations. The experimental results show that chemical concentration, megasonic vibration power, and brush clamp gap all significantly affect the cleaning performance, and that excessive megasonic power reduces the cleaning performance because more defects are introduced. A model of megasonic nozzle trajectory is also proposed, and optimized parameters, especially the relative velocity between the wafer rotation and nozzle movement, are critical to removing nanoparticles effectively. Furthermore, analysis of combining megasonic and brush cleaning shows that including megasonic cleaning improves the wafer cleaning performance by several orders of magnitude. Based on the optimized cleaning conditions, an ultraclean wafer surface is achieved after CMP.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
CodeCraft应助内向的昊焱采纳,获得30
3秒前
3秒前
25678987654发布了新的文献求助10
7秒前
smin完成签到,获得积分10
10秒前
10秒前
SUNNYONE完成签到 ,获得积分10
15秒前
nav完成签到 ,获得积分10
37秒前
微卫星不稳定完成签到 ,获得积分0
54秒前
红茸茸羊完成签到 ,获得积分10
58秒前
cc发布了新的文献求助10
1分钟前
六月的石头完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
受伤daqe发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
车秋寒发布了新的文献求助10
1分钟前
无辜的行云完成签到 ,获得积分0
1分钟前
1分钟前
1分钟前
xuan2022发布了新的文献求助10
1分钟前
Lillianzhu1完成签到,获得积分10
1分钟前
LINDENG2004完成签到 ,获得积分10
1分钟前
秋夜临完成签到,获得积分0
1分钟前
AA完成签到 ,获得积分10
2分钟前
时老完成签到 ,获得积分10
2分钟前
John完成签到,获得积分10
2分钟前
zyjsunye完成签到 ,获得积分10
2分钟前
青水完成签到 ,获得积分10
2分钟前
zijingsy完成签到 ,获得积分10
2分钟前
努力变成小富婆完成签到 ,获得积分10
2分钟前
手术刀完成签到 ,获得积分10
2分钟前
顺利的问寒完成签到,获得积分10
2分钟前
YifanWang应助科研通管家采纳,获得10
2分钟前
Michael完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
3分钟前
fae发布了新的文献求助10
3分钟前
廿二完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
4分钟前
学习发布了新的文献求助10
4分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Vertébrés continentaux du Crétacé supérieur de Provence (Sud-Est de la France) 600
A complete Carnosaur Skeleton From Zigong, Sichuan- Yangchuanosaurus Hepingensis 四川自贡一完整肉食龙化石-和平永川龙 600
Elle ou lui ? Histoire des transsexuels en France 500
FUNDAMENTAL STUDY OF ADAPTIVE CONTROL SYSTEMS 500
微纳米加工技术及其应用 500
Nanoelectronics and Information Technology: Advanced Electronic Materials and Novel Devices 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 纳米技术 计算机科学 内科学 化学工程 复合材料 物理化学 基因 遗传学 催化作用 冶金 量子力学 光电子学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5314675
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 4457631
关于积分的说明 13868108
捐赠科研通 4346986
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2387463
邀请新用户注册赠送积分活动 1381627
关于科研通互助平台的介绍 1350625