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Surface effects and adhesion of polysilazane and polyimide film bonding to copper redistribution layer with oxygen plasma treatment for advanced semiconductor packaging

材料科学聚酰亚胺铜再分配（选举）半导体图层（电子）粘附氧气复合材料等离子体光电子学冶金有机化学化学物理量子力学政治政治学法学

作者

Lung‐Hao Hu,Ta-Yung Chi

出处

期刊：Surfaces and Interfaces [Elsevier BV]
日期：2025-03-01 卷期号：: 106158-106158

标识

DOI：10.1016/j.surfin.2025.106158

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