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Enhanced Lithographic Performance of Polymer-Bound PAG Photoresists Synthesized via RAFT Polymerization

木筏 平版印刷术 聚合 聚合物 可逆加成-断裂链转移聚合 高分子化学 抵抗 材料科学 化学工程 化学 纳米技术 自由基聚合 光电子学 复合材料 图层（电子） 工程类
作者
Nan Qin,Na Li,Xiang Gao
出处
期刊：Polymer Chemistry [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
标识
DOI：10.1039/d4py01271b
摘要
Photoacid generators (PAGs) play an important role in chemically amplified resists (CARs), but small molecule PAGs have low solubility and limited compatibility with resins, which may lead to various problems....
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