Design and simulation of a novel MEMS-based single proof mass three-axis piezo-capacitive accelerometer

验证质量 加速度计 微电子机械系统 电容感应 概念证明 声学 电气工程 计算机科学 电子工程 材料科学 工程类 物理 光电子学 操作系统
作者
Salar Ghasemi,Behzad Sotoudeh,Mehdi Pazhooh
标识
DOI:10.1007/s00542-023-05604-9
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