Catalytic mechanism of tribochemical mechanical polishing on (0001) C-face of single crystal 6H-SiC substrate

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作者

Mingpu Xue,Wen Xiao,Tianyi Zhang,Zhankui Wang,Jianxiu Su

出处

期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2023-05-20 卷期号：131 (5-6): 2311-2323 被引量：7

标识

DOI：10.1007/s00170-023-11494-y

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