Improvement of n-Type Poly-Si Film Properties by Solid Phase Crystallization Method

结晶 材料科学 多晶硅 兴奋剂 基质(水族馆) 粒度 微晶 薄膜 太阳能电池 相(物质) 图层(电子) 能量转换效率 化学工程 分析化学(期刊) 光电子学 复合材料 纳米技术 薄膜晶体管 化学 色谱法 冶金 有机化学 工程类 地质学 海洋学
作者
T. Matsuyama,Makoto Tanaka,S. Tsuda,Satoshi Nakano,Yukinori Kuwano
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:32 (9R): 3720-3720 被引量:67
标识
DOI:10.1143/jjap.32.3720
摘要

Polycrystalline silicon (poly-Si) thin films prepared by the solid phase crystallization (SPC) method were investigated for application as photovoltaic materials. To improve the properties of the poly-Si thin film, two methods were developed to control crystallization. One is the partial doping method, in which starting material of a-Si consists of a doped layer and an undoped layer. We have succeeded in controlling nuclei generation using partial doping, and high mobility of 196 cm 2 /V·s was obtained at a carrier concentration of 1×10 18 cm -3 . SPC temperature can also be decreased to 500°C. The other is adoption, for the first time, of a textured substrate which exerted effects on the enlargement of grain size in poly-Si thin films prepared by the SPC method. By combining the partial doping method with the textured substrate, an n-type poly-Si thin-film with the grain size of 6 µm was fabricated which showed the Hall mobility of 623 cm 2 /V·s (n: 3.0\times10 15 cm -3 ). In a solar cell (thickness: 12 µm) applying this film, a conversion efficiency of 6.2% was obtained and a collection efficiency of 50% was achieved at a wavelength of 900 nm.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
瘦瘦天奇发布了新的文献求助10
刚刚
莉丽发布了新的文献求助10
2秒前
5秒前
柳行天完成签到 ,获得积分10
5秒前
科目三应助阳光易真采纳,获得30
10秒前
yoyo发布了新的文献求助10
10秒前
思源应助Wl采纳,获得10
12秒前
共享精神应助橘笙采纳,获得10
13秒前
耍酷问兰发布了新的文献求助10
14秒前
科研通AI2S应助nczpf2010采纳,获得10
16秒前
搜集达人应助杜兰特工队采纳,获得10
21秒前
热心市民小红花应助牛马采纳,获得10
23秒前
热心市民小红花应助牛马采纳,获得10
23秒前
23秒前
Ava应助WJM采纳,获得10
27秒前
科研通AI2S应助nczpf2010采纳,获得10
28秒前
酷酷飞烟发布了新的文献求助10
28秒前
Bressanone发布了新的文献求助10
30秒前
李健的小迷弟应助老吴采纳,获得10
30秒前
大气的雅山完成签到,获得积分10
32秒前
shaoshao86完成签到,获得积分10
38秒前
38秒前
华仔应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
逆时针应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
MchemG应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
研友_VZG7GZ应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
wang应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
wang应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
ding应助科研通管家采纳,获得10
38秒前
上官若男应助科研通管家采纳,获得10
39秒前
思源应助科研通管家采纳,获得10
39秒前
田様应助科研通管家采纳,获得10
39秒前
小北发布了新的文献求助10
39秒前
NexusExplorer应助Quinna采纳,获得10
41秒前
42秒前
42秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
44秒前
WJM发布了新的文献求助10
48秒前
老吴发布了新的文献求助10
49秒前
50秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989069
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531351
关于积分的说明 11253589
捐赠科研通 3269939
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804851
邀请新用户注册赠送积分活动 882074
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809073