HfO2 thin film formed by solution-coating method and application to resistive switching device

材料科学 二乙醇胺 欧姆接触 薄膜 热传导 肖特基二极管 旋涂 光电子学 分析化学(期刊) 电极 涂层 电阻随机存取存储器 图层(电子) 复合材料 化学工程 纳米技术 化学 二极管 冶金 物理化学 工程类 色谱法
作者
Takahiko Ban,Ryota Matsumura,Shinichi Yamamoto
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:60 (1): 014002-014002 被引量:1
标识
DOI:10.35848/1347-4065/abd368
摘要

Abstract The characteristics of a resistive-switching RAM (ReRAM) device are investigated using a HfO 2 thin film. HfO 2 is prepared using the solution-coating method. In the HfO 2 -precursor solution, hafnium isopropoxide is used as a solute and ethylene glycol monomethyl ether as a solvent. Additionally, diethanolamine (DEA) is used as a chemical modifier. The solution is prepared by adjusting the solvent to achieve concentrations of 0.1 mol l −1 , 0.5 mol l −1 , and 0.5 mol l −1 + DEA (4 eq). After applying the solution on Pt, the films are obtained by spin coating and sintering. The HfO 2 -ReRAM is fabricated using Al as the top electrode, and bipolar properties are obtained for all three concentrations. A fabricated HfO 2 -ReRAM device with an average thickness of approximately 28 nm exhibits a ON/OFF current ratio of 10 4 . In the high-resistance state, conduction is mainly due to the Pool–Frenkel conduction and Schottky emission, whereas in the low-resistance state, conduction is mainly ohmic.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
lll发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
sc30完成签到 ,获得积分10
3秒前
猪猪发布了新的文献求助10
4秒前
科研渣渣茜完成签到,获得积分10
4秒前
科目三应助XXJ采纳,获得10
8秒前
8秒前
9秒前
王莉完成签到,获得积分20
10秒前
orixero应助852采纳,获得20
10秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
10秒前
旷野发布了新的文献求助20
13秒前
没有蛀牙发布了新的文献求助10
14秒前
然然完成签到,获得积分10
14秒前
传奇3应助Richard采纳,获得10
14秒前
16秒前
sky发布了新的文献求助10
18秒前
奋斗绿旋完成签到,获得积分10
19秒前
科研通AI5应助3s采纳,获得10
20秒前
20秒前
21秒前
王莉关注了科研通微信公众号
21秒前
21秒前
llll发布了新的文献求助10
21秒前
xi完成签到,获得积分10
23秒前
23秒前
23秒前
小二郎应助hyr采纳,获得10
23秒前
CipherSage应助青水采纳,获得30
24秒前
感动的薄荷完成签到,获得积分10
26秒前
高高黄豆完成签到,获得积分10
26秒前
乌云发布了新的文献求助10
26秒前
ttttt完成签到,获得积分10
27秒前
太叔明辉发布了新的文献求助10
27秒前
28秒前
Coral.发布了新的文献求助10
29秒前
ttttt发布了新的文献求助10
29秒前
Akim应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
小马甲应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
传奇3应助科研通管家采纳,获得10
29秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 700
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles 500
不知道标题是什么 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3976210
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3520366
关于积分的说明 11203088
捐赠科研通 3256965
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1798570
邀请新用户注册赠送积分活动 877738
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 806516