In-depth analysis of residual stress in an alumina coating on silicon nitride substrate using confocal Raman piezo-spectroscopy

材料科学 残余应力 拉曼光谱 涂层 基质(水族馆) 光学 氮化硅 复合材料 分析化学(期刊) 图层(电子) 色谱法 海洋学 物理 地质学 化学
作者
Shigehiro Ohtsuka,Wenliang Zhu,Shigemi Tochino,Yutaka Sekiguchi,Giuseppe Pezzotti
出处
期刊:Acta Materialia [Elsevier]
卷期号:55 (4): 1129-1135 被引量:25
标识
DOI:10.1016/j.actamat.2006.05.038
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